田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934) header
田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934) profile picture

東北大学 ロボティクスコース 教授 / IEEE Fellow / 日本機械学会 フェロー / MEMS Engineer Forum 代表 / 自動車部 部長 / JST ACT-X 研究総括 / 「近代技術史学」講義担当 / 日経xTECHに執筆 / 山口県出身 / MEMS、半導体、産業史などについてポスト

Sendai
Joined May 2021
Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)Photo by 田中 秀治 / Shuji Tanaka (@mems6934)
SiO2膜の色彩と膜厚の関係。SiO2膜表面とSi表面の間で光が干渉して膜厚に応じた様々な干渉色が現れるので、測らずとも膜厚の見当が付く。以前、自社の汎用PECVD装置で付けたSiO2膜が「見事に」グラデーション=ムラになっている写真をXに公開して上司に睨まれた半導体装置メーカーの人がいたような…
酸化膜厚がわかる人財はいた🦆🍖しれませんポヨ🤔
23
3
160
9,616
MEMSプローブカードで造形が美しいものは、少し古いが、FormFactorの“BladeRunner”だろう。当時、どうやって作るのだろうと不思議に思った。犠牲基板上に先端部分をモールドめっきで形成し、そこにボンディングワイヤを付けてうまく曲げ、めっきで補強してから実装基板に接合し、先端部分をリリース。
NVIDIAはAI半導体のテスト能力を2026年から2027年にかけて倍増させる。同社へのMEMSプローブカードのサプライヤーは第1にTechnoprobe、第2にFormfactorだ。おそらくそのためTechnoprobeは売上高を急伸させていて、絶対王者だったFormfactorを追い越す勢い。HBM・DRAMの需要増に乗ってMJCも絶好調だ。
17
123
6,701
日本マイクロニクス(MJC)が絶好調なわけだ。同社の売上高の約半分がサムスン電気向け、約2割がマイクロンテクノロジー向け。そして、両社とも直近の四半期業績で売上高も営業利益も過去最高。MJCは青森第二工場を竣工させていたが、この好機にこの工場にMEMSプローブカードの製造装置を導入する。
Technoprobe(伊)はMEMSプローブカードに特に強い。MEMSプローブカードの旺盛な需要に応えるためTechnoprobeは約4千㎡の新工場“TPI8”を急いで建設する。1億7千万ユーロを投資し、来年には立ち上げる。その建設地は2021年に竣工した“TPI5”の斜め裏にあり、この一画には本社と他の施設も集積している。
1
28
1
187
17,406
Technoprobe(伊)はMEMSプローブカードに特に強い。MEMSプローブカードの旺盛な需要に応えるためTechnoprobeは約4千㎡の新工場“TPI8”を急いで建設する。1億7千万ユーロを投資し、来年には立ち上げる。その建設地は2021年に竣工した“TPI5”の斜め裏にあり、この一画には本社と他の施設も集積している。
NVIDIAはAI半導体のテスト能力を2026年から2027年にかけて倍増させる。同社へのMEMSプローブカードのサプライヤーは第1にTechnoprobe、第2にFormfactorだ。おそらくそのためTechnoprobeは売上高を急伸させていて、絶対王者だったFormfactorを追い越す勢い。HBM・DRAMの需要増に乗ってMJCも絶好調だ。
5
3
59
28,766
NVIDIAはAI半導体のテスト能力を2026年から2027年にかけて倍増させる。同社へのMEMSプローブカードのサプライヤーは第1にTechnoprobe、第2にFormfactorだ。おそらくそのためTechnoprobeは売上高を急伸させていて、絶対王者だったFormfactorを追い越す勢い。HBM・DRAMの需要増に乗ってMJCも絶好調だ。
14
7
89
43,645
SK hynixのHBMではメモリダイの積層隙間にアンダーフィルがコンプレッションモールディングによってまとめて充填される。そのための特別なアンダーフィル、すなわちMUF(Molded Underfill)はナミックスがSK hynixと共同開発し、SK hynixに独占供給している。その契約更新が近いと噂されている。
C4(Controlled Collapse Chip Connection)とアンダーフィルによる実装技術は、バンプが直径10 μm強まで微細化し、アンダーフィルがMUF(Molded Underfill)に替わり、SK hynixのHBMの積層技術に繋がっています。C4が開発されたのは1960年代、IBMにおいて。そこから脈々と技術が繋がっているのです。
14
2
108
6,770
SLTの時代、IBMは半導体素子が載ったセラミック小片をCuボールと半田で実装した。しかし、Cuボールの高さ合わせが困難で接続点を増やすのは難しい。そこで登場したのがC4だ。Cuボールを排し、溶融半田の濡れ領域をUBMで限定し、表面張力で半導体チップ下の隙間を保持。これがControlled Collapse。
C4(Controlled Collapse Chip Connection)とアンダーフィルによる実装技術は、バンプが直径10 μm強まで微細化し、アンダーフィルがMUF(Molded Underfill)に替わり、SK hynixのHBMの積層技術に繋がっています。C4が開発されたのは1960年代、IBMにおいて。そこから脈々と技術が繋がっているのです。
8
63
3,777
C4(Controlled Collapse Chip Connection)とアンダーフィルによる実装技術は、バンプが直径10 μm強まで微細化し、アンダーフィルがMUF(Molded Underfill)に替わり、SK hynixのHBMの積層技術に繋がっています。C4が開発されたのは1960年代、IBMにおいて。そこから脈々と技術が繋がっているのです。
東芝の0.85インチHDDの部品実装面積は極めて小さい。実装基板の真ん中にスピンドルモーター等を納める大穴がある。そこで、LSIベアチップをC4とアンダーフィルによって高密度実装。この方法は1990年代末に普及し始めた新しい技術だった。この論文の第一著者は“T-CHIPS”の幹事の1人の八甫谷明彦教授。
4
31
2
210
22,428
東芝の0.85インチHDDの部品実装面積は極めて小さい。実装基板の真ん中にスピンドルモーター等を納める大穴がある。そこで、LSIベアチップをC4とアンダーフィルによって高密度実装。この方法は1990年代末に普及し始めた新しい技術だった。この論文の第一著者は“T-CHIPS”の幹事の1人の八甫谷明彦教授。
“T-CHIPS”を始めます。半導体先端パッケージング・ヘテロ集積化技術に関する研究開発コンソーシアムです。東北大学が擁する研究拠点“SIRC”と“GINTI”はプロセスインテグレーションとデバイスインテグレーションの研究開発ができることを特長にしています。それらの利活用を会員企業向けに支援します。
1
20
1
125
20,668
AI半導体やサーバーの巨大需要を背景に台湾と韓国は総輸出額で日本を超えました。国民1人あたりの輸出額では台湾が約6倍、韓国が約3倍と日本に大差を付けています。一方、日本の第一次所得収支の黒字額は台湾・韓国のそれの8〜9倍と大きく、日本は海外資産からの利子や配当で稼ぐ成熟債権国なのです。
台湾の9月の輸出受注は過去最高 9月の輸出受注は過去最高を記録し、20ヶ月連続で好調な業績を達成した。10月もこの好調な傾向が続くと予想される。 経済部は昨日(9月20日)、9月の輸出受注額が1,142億1,000万米ドルに達し、2ヶ月連続で1,000億米ドルを超え、月間新記録を樹立したと発表した。前年同月比成長率は62.4%で、20ヶ月連続の2桁成長となった。経済部は、AIに対する旺盛な需要が予想を上回ったとし、今年の第4四半期の受注は第3四半期よりもさらに好調になると予測している。 今年1月から9月までの累計輸出受注額は8,192億ドルに達し、前年同期比56%増となり、史上初めて前年の総額を上回った。年間総受注額は1兆1,000億ドルを超える見込みだ。 10月に向けて、輸出受注は引き続き好調が見込まれ、1,125億米ドルから1,159億米ドルと推定され、3ヶ月連続で1,000億米ドルを超える見込みで、前年同期比では62%から67%の増加となる。1月から10月までの受注は9,317億米ドルから9,351億米ドルと推定され、前年同期比では56.7%から57.3%の増加となる見込みだ。 経済部統計局の黄維傑局長は、9月の輸出受注が予想を上回ったと述べた。これは、AIへの強い需要と、スマートフォンやノートパソコンなどの新消費者向け製品の受注急増という2つの要因によるものだという。しかし、これらの新消費者向け製品の受注が数量によるものなのか価格によるものなのかを判断することは依然として不可能だと認めた。さらに、今年発売された消費者向けスマートフォンの製品ラインナップの違いが、受注急増の行き先の違いにつながる可能性もあると指摘した。 黄偉傑氏は、AIに対する根強い需要が今後も続くことは確かな傾向だと述べた。一部のメーカーはサーバーだけでなく携帯電話やノートパソコンも製造しているため、需要の急増を携帯電話やノートパソコンの大量注文に起因するものと断定するのは難しい。しかし、サーバー製造のみに注力しているメーカーに注目すると、「その勢いは顕著だ」と黄氏は指摘した。 同氏の分析によると、最近、IMF(国際通貨基金)をはじめとする主要な国際予測機関が、今年の世界貿易量(財・サービスを含む)の成長率予測を4.6%に、WTO(世界貿易機関)が今年の世界商品貿易量の成長率予測を3.9%にそれぞれ上方修正した。いずれも以前の予測を大幅に上回る数値である。これは主に、AIに対する需要が非常に強いと彼らが考えているためだ。AIの勢いがどれくらい続くかは、現時点ではまだ判断が難しい。 AI関連の受注は引き続き輸出の柱となっている。経済部によると、9月の情報通信機器の受注額は438億8000万米ドルに達し、単月としては過去最高を記録した。これは前年同月比87.3%増に相当する。この増加は主に、AI、データセンター、クラウド産業の継続的な拡大に加え、家電製品の受注増加によるもので、サーバー、ネットワーク機器、携帯電話、ノートパソコン、産業用コンピュータの受注増加を牽引した。 9月の電子機器受注額は過去最高の474億2000万米ドルに達し、前年同月比71%増となった。これは、高性能コンピューティングや人工知能アプリケーションに対する需要の高まりが牽引したもので、IC製造、メモリ、チップ流通、IC設計の受注を押し上げた。 経済部は今後の見通しとして、世界の貿易と経済は地政学的要因や国際貿易政策の不確実性の影響を受け続けるだろうと述べた。しかし、AIや新興技術の応用が継続的に拡大することで、回復力も発揮されるだろうと予測している。各国やクラウドサービスプロバイダーは、AIインフラの構築に積極的に取り組んでいる。さらに、台湾の半導体およびサーバー関連のサプライチェーンは世界的に重要な位置を占めており、輸出受注の勢いに貢献すると見込まれる。
10
42
4
204
27,339
“T-CHIPS”を始めます。半導体先端パッケージング・ヘテロ集積化技術に関する研究開発コンソーシアムです。東北大学が擁する研究拠点“SIRC”と“GINTI”はプロセスインテグレーションとデバイスインテグレーションの研究開発ができることを特長にしています。それらの利活用を会員企業向けに支援します。
#研究成果 #プレスリリース 半導体先端パッケージング・ヘテロ集積化技術に関する研究開発コンソーシアム“T-CHIPS”が始動 ―後工程技術による半導体の高度化を目指して― 【ロボティクス専攻・マイクロシステム融合研究開発センター 教授 田中 秀治】 詳細はこちら👇 eng.tohoku.ac.jp/news/detail…
1
24
1
110
18,192
T-CHIPSのキックオフミーティングを12月4日に東京で開催します。会場の広さが限られているので、ライブ配信も行う予定です。ラピダスの折井靖光さんに基調講演をして頂き、続いて本学の福島誉史教授と日暮栄治教授が技術講演をします。参加申し込みは以下のウェブサイトから。 t-chips.mech.tohoku.ac.jp/
19
1,359
ハフニア(HfO2)は代表的なHigh-k材料であり、強誘電体になるとは思いもよらなかった。2007年頃、Qimondaの研究者らはHfO2薄膜のリーク電流特性を評価する中で強誘電性を示唆する特性を発見したが、慎重に実験するうちにQimondaは経営破綻。それで、この記念碑的論文の著者の所属はバラバラなのだ。
FeNANDをAIのイン・メモリー・コンピューティング(IMC)に使うというSH hynixの論文。FeNANDの強誘電層にはZr-HfO2(HZO)を用いるが、HfO2の強誘電性が報告されたのは2011年だ。Qimonda(Siemens系DRAMメーカー)にてDRAMキャパシタ向けにHfO2薄膜のリーク電流特性を評価する中で偶然に発見された。
10
1
92
6,878
FeNANDをAIのイン・メモリー・コンピューティング(IMC)に使うというSH hynixの論文。FeNANDの強誘電層にはZr-HfO2(HZO)を用いるが、HfO2の強誘電性が報告されたのは2011年だ。Qimonda(Siemens系DRAMメーカー)にてDRAMキャパシタ向けにHfO2薄膜のリーク電流特性を評価する中で偶然に発見された。
なんか、SK Hynixが3D FeNANDなるものを考えているらしい。 読み切れていないけど、コンセプトとしては3D NANDのCT層を強誘電体層に変えるようだ。 どうやって作るの?って話は置いといて、もし実現したら、何がどこまで変わるのだろうか?と思いつつ、RP時点で4000表示しかされてない・・・
14
3
78
11,108
東芝は小型化の方向にHDD技術を突き詰めた。スマホネイティブ世代には信じられないと思うが、東芝の1.8インチHDDは2001年に初代iPodに搭載された。最初は5 GBだった記憶容量は320 GBまでになった。さらに、0.85インチ・切手サイズのHDDも開発された。今にしてみると滑稽に見える程に尖った技術だった。
東芝のHDDは水平分業的だ。ガラスプラッターはHOYA、メディアはレゾナック、ヘッドはTDK、サスペンションは日本発条、モーターはニデックなどとサプライチェーンがある。この写真のレゾナック・山形工場は山形富士通のメディア工場だったが、2009年に昭和電工に譲渡。富士通のHDD事業は東芝に譲渡。
46
535
53
1,869
126,969
東芝のHDDは水平分業的だ。ガラスプラッターはHOYA、メディアはレゾナック、ヘッドはTDK、サスペンションは日本発条、モーターはニデックなどとサプライチェーンがある。この写真のレゾナック・山形工場は山形富士通のメディア工場だったが、2009年に昭和電工に譲渡。富士通のHDD事業は東芝に譲渡。
【東芝、HDD供給倍増へ600億円投資 半導体メモリー調達難で需要拡大】 東芝は2027年度中に人工知能(AI)データセンター向けのハードディスクドライブ(HDD)の生産能力を倍増する。約600億円を投じてフィリピン工場を増強する。AIインフラの重要部品の安定供給につなげる。 HDD市場は米ウエスタンデジタル(WD)と米シーゲート・テクノロジー、東芝の3社で寡占している。 東芝のシェア(容量ベース)は現在10%超にとどまる。中期的に30%まで高める目標を掲げる。 東芝のHDD部門にとって大型投資の決定は約5年ぶり。 出典:日本経済新聞 nikkei.com/article/DGXZQOUC2…
3
66
4
223
96,396
真空部品の表面仕上げは電解研磨です。ステンレス鋼の製品を陽極にして、電解液にはリン酸や硫酸の混合液を使います。この映像にあるように複雑な容器の内壁の電解研磨には樹木状の陰極も用いるのですね。一方、私が見た半導体用真空部品の工場では全自動機で一品ずつ電解研磨を行っていました。
半導体用特殊ステンレス鋼はSAE 316Lよりさらに硫黄とマンガンの含有量を抑えているので、切削の際に切粉の分断不良や構成刃先といった問題を起こすようだ。そこで、工具の正のすくい角を大きくし(鋭利にし)、切削点にクーラントを直接噴射し、切り込みと送りを小さくし過ぎないようにして加工する。
8
84
3,592
以前、むらやまこういち💉💉さんは「LSI発祥の地」の碑が沖電気工業・八王子工場の1号館前にあったときの貴重な写真を紹介して下さいました。これは1970年代に時計や電卓のデジタル表示に使われたというCMOS LSI「MSM5500シリーズ」の成功を記念して、創業100周年の1981年に建立されたものでしょうか。
Replying to @mems6934
大元の元は沖電気のULSI研究棟でしたね。研究するものが無くなってしまったので、ロームが購入してくれなかった化合物半導体の製造ラインを入れたという流れです。
1
3
48
3,186
元々、日本ルメンタム・高尾工場は沖電気工業・オプティカルコンポーネント事業部の建物ですよね。NeoPhotonics Semiconductorを経て、それが買収されてLumentumに。今、絶好調。高尾駅の東側・イーアス高尾の場所にはかつて沖電気工業・八王子工場がありましたが、今はこの建物しか残っていません。
日本ルメンタム 相模原事業所 高尾工場 ここで、NVIDIAが強烈に欲しがっているルーメンタムのレーザーが作られていますよ!! industry.city.sagamihara.kan…
1
18
4
113
35,367